MOS Technology Inc., brevemente MOS e conosciuta anche sotto il nome di CSG (Commodore Semiconductor Group), nacque originariamente come secondo fornitore per i componenti delle calcolatrici Texas Instruments. Per un certo periodo ha anche prodotto i chip per il videogioco Pong di Atari.
Alla crescita del mercato delle calcolatrici, la Commodore Business Machines comprò praticamente tutti i chip della MOS per la propria linea di calcolatrici.

Nel 1975 in MOS entrarono a far parte diversi ingegneri che avevano lavorato in Motorola alla realizzazione del MC68000 ed iniziarono la progettazione di una cpu simile ma più economica e più potente. Nacque così la cpu 6501, con la stessa piedinatura del MC6800, e che nonostante diverse semplificazioni rispetto al MC6800 risultava quattro volte più veloce. Motorola lanciò immediatamente un'azione legale e sebbene il 6501 non fosse compatibile col 6800 la MOS ne interruppe le vendite.

Pochi mesi dopo, però, lanciò sul mercato una cpu straordinaria, destinata a fare la storia dei microprocessori. Il 6502 era essenzialmente identico al 6501 ma differiva per la piedinatura e quindi risultava incompatibile. Lavorava ad una frequenza di clock di 1MHz ed era molto più veloce degli antagonisti Motorola 6800 e Intel 8080. Il suo prezzo era di soli 25 dollari. Molte aziende acuistarono la licenza per poter produrre il 6502, tra queste Rockwell International, GTE, Synertek, e Western Design Center (WDC), quest'ultima fondata da Bill Mensch, un ex dirigente di MOS Technology.
Il 6502 venne adottato dalla Commodore su numerosi computer di loro produzione, dal Kim-1 al PET, al Vic 20, al mitico C64 e i successivi C16 e C128; inoltre fu utilizzato da Apple sugli Apple I, Apple II e Apple III, sull'Atari 400, e su tanti altri computer di casa Acorn, Compukit, Frankin e della croata PEL Varaždin.
Negli anni che seguirono MOS produsse diverse versioni successive al 6502, dal 6503 al 6507, tutte a 28 pin e a basso costo. Infine la cpu 6510, a clock esterno gestito dalla scheda madre e con gestione aggiuntiva delle porte I/O.
Nel 1976 la Commodore comprò tutta la produzione MOS che divenne così Commodore Semiconductor Group (CSG), sebbene continuando per un lungo periodo a produrre chip anche col marchio MOS fino al 1989.
Successivamente MOS produsse le cpu 8500 e 8502, versioni HMOS del 6510 che potevano raggiungere anche i 2 MHz di frequenza.

Dopo la bancarotta di Commodore nel 1994 la CSG fu riacquistata dalla vecchia direzione di MOS Technology che nel frattempo avevano fondato la GMT Microelectronics Corporation e per un certo periodo produsse chip con tecnologia SOI (Silicon On Insulator) che abbassa le capacità statiche del silicio e migliora le prestazioni.
Nel 2001 la GMT ha chiuso i propri impianti ed è stata liquidata.